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來源: | 發布日期:2021-12-31

        磁控濺射妖精视频一区二区三区是物理氣相沉積的一種,在實際運用中,如果操作不當,機器故障,就會出現“靶中毒”現象。 如:靶材電壓低於正常值,濺射速度也會隨之下降;靶材表麵出現一層灰白色,大概率是氧化物覆蓋;PVD真空爐內壁上出現了絕緣層,會導致原子到達陽極後無法進入,陽極消失;還有黑色L值30以下的膜層,而這種膜層的形成需要很高的碳元素,工藝穩定性比較差,極易出現“靶中毒”

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     那如何避免及解決“靶中毒”呢?

     第一,目前較好的解決方案是采用中頻磁控濺射妖精视频一区二区三区技術,結合漸進式進氣方式,可以很好的解決“靶中毒”產生的高壓擊穿放電,也不會出現陽極消失

     第二,控製反應氣體通入速度,提前計算好靶中毒遲滯曲線,嚴格控製反應氣體流量,防止靶材金屬態到化合物狀態的突變,降低膜層顏色偏紅、偏綠的現象

    第四,長期放置易氧化的靶材進行處理後再濺射

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